КРЕМНІЙ НАПІВПРОВІДНИКОВИЙ, ТЕХНОЛОГІЇ ТА ПЕРСПЕКТИВИ

Автор(и)

  • Анатолій Верховлюк ФТИМС НАН Украины http://orcid.org/
  • Іван Червоний http://orcid.org/

DOI:

https://doi.org/10.30890/2567-5273.2017-02-01-032

Ключові слова:

кремний, состояние и перспективы производства, металлургический кремний, поликристаллический кремний, технология, монокристаллический кремний, структурное совершенство монокристаллов кремния, классификация дефектов, тепловые условия, радиационное воздейст

Анотація

В статье приводится краткая история открытия кремния, описано современное состояние и перспективы производства поликристаллического кремния полупроводниковой чистоты в Украине и мире. Описаны применяемые технологии производства металлургического кремния и

Metrics

Metrics Loading ...
Международный научный периодический рецензируемый журнал "Modern engineering and innovative technologies"

Downloads

Опубліковано

2017-11-30

Як цитувати

Верховлюк, А., & Червоный, И. (2017). КРЕМНІЙ НАПІВПРОВІДНИКОВИЙ, ТЕХНОЛОГІЇ ТА ПЕРСПЕКТИВИ. Modern Engineering and Innovative Technologies, 1(02-01), 68–98. https://doi.org/10.30890/2567-5273.2017-02-01-032

Номер

№ 02-01 (2017)

Розділ

Статті